微导纳米ALD尖端半导体设备产业化取得重大进展

发布者:深铭易购     发布时间:2022-02-12    浏览量:--

【深铭易购】资讯:据无锡高新区管委会消息,近日,江苏微导纳米科技股份有限公司(以下简称“微导纳米”)迎来发展又一里程碑。


微导专用于先进芯片制造的原子层沉积(ALD)设备获得国内某先进半导体制造企业的重复订单,为半导体产品技术迭代提供了关键工艺解决方案。本次获得重复订单装备性能突出,工艺选择性强,尤其适用于先进超大规模集成电路制造所需各类ALD薄膜沉积。


微导纳米成立于2015年,是一家面向全球的高端设备制造商,专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。公司以原子层沉积技术(ALD)为核心,业务涵盖半导体、光伏、LED&MEMS、柔性电子、新能源等工业领域。


2020年,微导纳米自主研发的凤凰系列ALD薄膜沉积系统成功实现量产化,专用于先进超大集成电路(VLSI)制造所需各类ALD薄膜沉积工艺。当年11月,微导纳米宣布获来自某先进半导体芯片制造企业的首个订单,即将交付首台用于先进技术节点的原子层沉积(ALD)量产设备。


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