加快微电子装备迭代升级,上海高端装备产业发展“十四五”规划发布

发布者:深铭易购     发布时间:2021-12-21    浏览量:--

【深铭易购】资讯:近日,上海市经济信息化委印发了《上海市高端装备产业发展“十四五”规划》(以下简称《规划》)。根据《规划》,到2025年,上海市高端装备产业规模持续扩大、综合实力稳步提升、新兴技术深度融合、基础能力显著增强,初步建成具有全球影响力的高端装备创新增长极与核心技术策源地。


根据《规划》,产业能级进一步提升,推动智能制造装备、航空航天装备、舶海海工装备、高端能源装备等优势产业创新升级,节能环保装备、高端医疗装备、微电子装备等重点产业快速增长。重点细分领域从国际“跟跑”“并跑”向“领跑”迈进,全市高端装备产业工业产值突破7000亿元,市级特色产业园区数达到20家以上。


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创新能力进一步增强,围绕高端装备核心部件、整机集成、成套系统,建设国家和市级企业技术创新中心100个,实现关键装备与核心部件首台(套)突破300项。规上企业研发支出占营业收入平均达到2%以上。


数字水平进一步提高,5G、人工智能、工业互联网、大数据等新兴技术与高端装备融合程度进一步加深,智能制造新模式应用进一步普及,工厂数字化程度进一步提高,建设高端装备市级智能工厂40家以上。


重点领域:智能制造装备、民用航空航天装备、民用船舶及海洋工程装备、高端能源装备、高端医疗装备、微电子装备等。


在智能制造装备领域,按照“以示范带应用,以应用带集成,以集成带装备,以装备带强基”的思路推进智能制造装备发展,加强核心装备突破与系统集成应用。


其中,机器人方面,以场景引领、核心突破为重点,一是推动工业机器人升级,发展应用于加工、装配、焊接、打磨、码垛、分拣、洁净等场景的高精度工业机器人,突破具备柔性交互与高仿人化特征的6轴及以上协作机器人与自适应机器人,全面覆盖汽车、航空航天、船舶海工、消费电子、集成电路等行业应用。二是扩大服务(特种)机器人规模,发展应用于清洁、教育、养老、娱乐、商业服务、公共服务等场景的服务机器人产品,推动骨科、腔镜、神经外科手术机器人与康复机器人产业化发展,开发安防巡检、诊断维修、应急救援、农业生产等领域特种机器人,加强人工智能技术与服务机器人融合应用。三是突破机器人核心零部件,发展高精密减速器、高性能伺服电机和驱动器、高速高性能控制器、高精度传感器及智能模组等,提升机器人核心关节可靠性与性能稳定性。


智能仪器仪表与传感器方面,以精细化、智能化为重点,一是发展智能仪器仪表及控制系统,发展应用于工业、能源、轨交、环保、科研等领域在线测量、分析、监测专用仪器仪表,提高数据采集准确性和效率;培育一批深耕控制系统、自动化仪表的“专精特新”企业,提升生产应用检测与控制水平,推动制造执行系统的迭代升级。二是发展新型传感器,重点发展应用于智能工厂、消费电子、高端装备所需的高精度、高可靠性传感器;攻关微机电系统(MEMS)等先进传感器技术,推动科研院所成果转化应用。


在微电子装备领域, 以自主可控、创新升级为重点,加快微电子装备迭代升级,强化本地部件配套能力,围绕12英寸大生产线需求,初步建成较完备的集成电路核心装备自主供给体系。


 一是集成电路装备,瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节,推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发,在关键制程实现产业化突破;加强核心零部件本土保障能力,推进光学、过滤、真空、运动、电控、密封、陶瓷等零部件攻关。二是新型显示装备,推进高世代线高端光刻机、有机材料蒸镀设备、化学气相沉淀设备、量测设备、光配向设备、张网设备等装备研发突破,加强在各世代产线先进制程中的串线应用。


针对空间布局,《规划》提出,贯彻上海“中心辐射、两翼齐飞、新城发力、南北转型”的空间新格局,结合“五大新城”产城融合建设,发展高端装备“1+2+N”产业布局,以中国(上海)自由贸易试验区临港新片区为高端装备创新和制造核心区,以沿江发展带、环湾发展带为两大协同发展带,以中区多个特色产业群为示范发展区。


其中,“1”——临港核心区,全力构筑临港新片区核心优势,重点布局微电子装备、民用航空装备、船舶海工装备、高端能源装备、高端工程机械等领域,聚焦产业链、价值链高端环节,增强全球资源配置能力,打造全市高端装备发展的战略增长极。


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