【深铭易购】资讯：2月15日，北京烁科中科信本年度首台大束流离子注入机在国内某知名集成电路产线move in。

北京烁科中科信消息称，本台设备是大束流离子注入机工程化最新成果的集中体现，在原有设备性能的基础上，优化了多项机台核心参数，综合WPH已实现与国际先进机台对标。

1月9日，北京烁科中科信发布消息称，开年新签整机累计达11台，合同总额突破2亿元。

2022年8月，北京烁科中科信第4台中束流离子注入机顺利于某集成电路产线Move in；同年9月，北京烁科中科信中束流离子注入机顺利交付。