EUV光刻狂飙,复合年增21.8%!
发布者:深铭易购 发布时间:2023-08-07 浏览量:--
【深铭易购】资讯:EUV光刻市场前景预计将持续看好,从2023年的94亿美元跃升至2028年的253亿美元,年均增长21.8%。
EUV光刻技术跨足传统光刻技术局限,以更短波长的EUV光,催生了硅晶片上更微小、更紧密的图案,推动了高晶体管密度的微芯片制造进程。关键是EUV光源,借助激光操控13.5纳米高能光,将锡液滴转化为等离子体,释放出EUV辐射,进而经过特制镜面的反射和聚焦,将所需图案传输至涂有光敏材料(光刻胶)的硅晶片上。
EUV光刻不仅芯片密度得以突破,还简化制造过程、提升生产效率,以及更好控制关键尺寸,减少图案变异,从而提高芯片性能和产量。在高性能计算、人工智能和移动设备等领域,EUV光刻功不可没。
商业领域中,晶圆代工厂为半导体公司和集成器件制造商(IDM)提供制造服务,推动了高级微芯片的制造。晶圆代工厂致力于制造工艺,与芯片设计密切相关。台积电、全球闪存、三星等晶圆代工厂通过为芯片设计提供制造服务,与fabless公司和IDM合作。晶圆代工工厂之所以蓬勃发展,离不开对EUV光刻的重大投资,而亚太地区国家在这一领域起到关键作用。
EUV掩膜,又称EUV掩模或EUV光刻掩膜,是先进光刻技术EUVL的核心。EUV光刻应用于制造下一代更小尺寸、更高性能的半导体器件。EUV掩膜在晶圆上形成电路图案,它由薄基底涂覆多层反射材料制成,有助于将EUV光聚焦到晶圆上,实现高分辨率图案。制造EUV掩膜需要复杂工艺和严格质量控制,确保电路图案的准确性和可靠性。众多公司,如拓普公司、KLA Corporation、ADVANTEST CORPORATION、AGC公司等,参与EUV掩膜及相关产品的制造。
亚太地区在EUV光刻领域有着举足轻重的地位,中国大陆、日本、台湾、韩国等地位列前茅。其中,台湾在亚太地区市场占据领先地位。这个行业正迅猛发展,为未来的高级集成电路制造奠定坚实基础。
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