强势新突破!新区两大半导体装备项目验收通过!

发布者:深铭易购     发布时间:2023-07-28    浏览量:--

【深铭易购】资讯:近日,湖南湘江新区的企业在第三代半导体核心装备和8英寸集成电路成套装备的研发中取得了令人振奋的新进展!

据了解,这两个项目是湖南省2021年度的十大技术攻关项目之一,分别为“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”和“8英寸集成电路成套装备”。值得骄傲的是,7月25日,这两个项目已成功通过综合验收,成果耀眼。

“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”项目由中国电子科技集团公司第四十八研究所承担,取得了多项关键技术的突破,包括6英寸SiC外延生长、高温高能离子注入机工艺性能、产能、稳定性和可靠性等。最值得欣喜的是,实现了6英寸SiC外延生长设备和SiC高温高能离子注入机的国产化和工程化,成功打破了进口垄断。目前,该设备已成功应用于国内第三代半导体的领先企业。

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“8英寸集成电路成套装备”项目由中国电科第四十八研究所和湖南楚微半导体科技有限公司共同承担。通过国产装备、工艺和产品的协同创新,成功实现了8英寸集成电路成套装备的国产化替代,解决了成套装备“卡脖子”的问题。目前,该项目已完成43台(套)国产核心工艺装备上线验证,整线工艺装备国产化率达95%,产线已达到每月2万片的生产能力,芯片良品率达98%。同时,该项目还突破了立式炉管、硅外延设备等关键技术攻关,完成了工艺验证,实现了国产替代和产业化生产。

这些重要技术进展对湖南地区以及整个中国的半导体产业发展都具有里程碑式的意义。它们的成功推动了国产化进程,提升了中国在半导体领域的自主研发和制造水平。相信随着这些项目的不断推进,中国的半导体产业必将蓬勃发展,迎来更加美好的未来!

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